적용 : 정밀 전자 산업 분야의 진공환경 하 부품, 클린룸 리니어 가이드, 반도체 설비, 오일 씰
특성 : 열 안정성, 증발량 매우 적음, 반응성 물질에 대한 저항성, 플라스틱 및 고무와의 상용성, 평생 윤활